零部件与服务

           国产关键零部件

                            研发与生产半导体硅、石英、陶瓷和金属材料设备零部件,主要应用于

                                  外延、薄膜、刻蚀、扩散等集成电路制造工艺环节

                          

                                      积极开发国产替代的设备关键部件:

                                               ·  远程等离子源

                                           ·  射频电源

 

                                    机器人与智能化产品   

 

                   致力于自动化设备的研发、设计与制造,提供集成电路制造工厂

                            全方位智能化产品和整体系统解决方案