国产设备研发及生产

                                                                                                                          

国产半导体设备

 

通过产业链协同创新,研制具体自主知识产

的高端集成电路装备,实现国产化及产业化

 

                                                                                                                    ·  化学气相沉积

              ·  解耦等离子体氮化沉积

 ·  物理气相沉积